半導体製造装置メンテナンス
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装置安定稼働のサポート
生産ラインの安定稼働と製品品質の維持に不可欠です。
適切なメンテナンスを怠ると、設備の故障による生産停止や品質不良のリスクが高まります。
弊社はメーカーでのサービスが終了したような装置でも迅速かつ柔軟なサポートを提供します。
主な対象装置
- 拡散炉装置のヒーター交換や各種定期点検サービス、消耗部品、メンテナンス部品交換など
- トラック系装置のメンテナンスサポート、各種部品交換作業
- 洗浄装置の塩ビ溶接等の補修作業
リフレッシュサービス
- 装置の無害化、オーバーホールサービス
- 生産中止部品の現行化改造
- 部品故障・劣化箇所の修理
- 装置の入替えに伴うご要望やご相談など
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Regenerative cleaning, maintenance and repair to maximize the performance of semiconductor manufacturing equipment.