精密製品洗浄
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カップ洗浄
レジスト、ポジレジスト、ネガレジスト、BARC、TARC、カラーレジスト等の各種スピンカップの洗浄を承ります。
洗浄後１
洗浄後２
CVDバルブ洗浄
拡散炉装置等に搭載されているCVDバルブ等の洗浄も承ります。
配管に付着した窒化膜、ポリ膜、TEOS等の汚れを主に洗浄致します。
VECバルブ 洗浄前の画像１
VECバルブ 洗浄前の画像２
VECバルブ 洗浄後の画像１
