精密部品修理
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拡散
- TS-4000Z PANEL, IW-4000, IW-3200, TW-3100, 他
- TS-4000Z MAIN CTRL
Ｐ基板, Ｍ基板, Ｔ基板, Ｓ基板, GAS基板, T/B基板, 電源
- 温度コントローラー
MODEL120シリーズ
M-120, M-120-01, M-120PHASE, M-121, M-340,M-340 CX,M-560,M-300をM-301Aに改造
- 基板
DDC-9900, DDC-5000,MC-12700
BG6-0295, BG6-0296, BG9-0395, BG9-0040, BG9-0395, BG-0406
BG9-3501, BG9-3793, BG9-8868,CP-8400
GAS I/L 2108-020028-11, 2181-020028-11, 2181-020028-19
MC-31007, MC-31007A, MC-31008, MC-31008B, MC-31009A, MC-31026
MC-31041A, MC-31050, MC-31151
SECU-004, SECU-104, SG-2700, SG-2700B 他
フォトリソ
- サーモコンユニット（SMC）
INR-244-110B、INR-244-110E、INR-244-111A、INR-244-111B、INR-244-111C、
INR-244-111D、INR-244-112A、INR-244-112B、INR-244-112C、INR-244-112D、
INR-244-112F、INR-244-113B、INR-244-117B、INR-244-117C、INR-244-166A、
INR-244-200A、INR-244-201A、INR-244-203-B、INR-244-215A、 INR-244-215B、
INR-244-217A、INR-244-218D、 INR-244-264、INR-244-264A、INR-244-402、
INR-244-404、INR-244-412 他
- 恒温水ユニット（KOMATSU）
KCE-53WS-A、KCE-53WS-B、MCE-52W、 MCE-52WA、MCE-52WB、MCE-51W
FR-531、FR-521、FR-511
その他
- 恒温水ユニット（KOMATSU）
・TEL マーキュリー TFTカラー液晶モニタ TSD-AT157-M
・TEL PR200Z CPUボード PC-LCDシリーズ
・TEL ACT用タッチパネル FP-VGA 260S-CE2
・SCREEN WS-820L用 槽前パネル AJ35TF-32DT-S1
・SCREEN SC／SD／SK-80BW用 搬送ボード EERC-0011
・SCREEN SC／SD／SK-80BW用 ベークボード EEBC-0012
・SCREEN SC／SD／SK-80BW用 CPコントローラ MODEL FRD-4
・SCREEN FC-821L用 リモート基板 AJ35TF-56DT-S1
・SCREEN SS-W80A用 メンテナンスパネル CESP-0018
Regenerative cleaning, maintenance and repair to maximize the performance of semiconductor manufacturing equipment.